工业通用技术及设备论文_涡轮分子泵叶列抽气性

文章摘要:涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法，使用COMSOL对二维模型进行计算，更新了单级叶列抽气性能参数数据库，并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法，同时根据改进算法编写计算程序。面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况，使用此方法提高了计算准确度，为涡轮分子泵组合叶列的计算提供了可靠的支撑，为涡轮分子泵设计与性能评估提供了方法与依据。

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论文DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202109021

论文分类号:TB752.27

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