工业通用技术及设备论文_复合分子泵涡轮级参数

文章摘要:复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数影响到抽气性能的同时，也影响着检漏仪的检测性能。本文基于分子泵抽气基本理论，建立复合分子泵涡轮级的计算模型，通过改变叶片倾角、叶片数目、叶片高度和叶片厚度，分别计算复合分子泵涡轮级对空气和氦气的抽气性能，研究复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明：减小叶片倾角、增加叶片数目和叶片高度、增大叶片厚度有利于氦质谱检漏仪检测精度的提高；综合考虑分子泵的抽气性能和氦质谱仪的检测精度，选取叶片倾角25°，涡轮叶片数目25个到30个，叶片高度3mm，叶片厚度0.6mm到0.8mm最优。

文章关键词:

论文分类号:TB752

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