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真空科学与技术学报

工业通用技术及设备论文_基于CFD的H型真空手套

文章摘要:基于计算流体力学方法对H型真空手套箱气内流道气固两相流流动特性进行数值模拟,以特种工况手套箱为研究对象,建立H型真空手套箱三维模型,应用气固双向耦合的方法探究该型手套箱的内部流场。通过分析内流道在不同工况下气固两相速度、颗粒粒径变化对固相运动过程的影响,对实际生产过程中箱体内达到理想氛围耗时较长、局部产生颗粒物沉积或烟雾现象进行阐释。通过理论分析和仿真发现,当固体颗粒物粒径恒定为90 nm时,随着进气口速度增大固体颗粒物速度随之明显增大,当进气口速度恒定为4.777 m/s,且颗粒粒径小于5μm时,固体颗粒物对气流组织伴随性良好;固体颗粒物粒径大于等于10μm时,固体颗粒物对气流组织伴随性较差,可能会产生局部沉积现象。

文章关键词:

论文作者:蒲志新 贾加亮 武志龙 翟孖广 

论文DOI:10.13732/j.issn.1008-5548.2021.06.017

论文分类号:TB126

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