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真空科学与技术学报

转盘式真空涂覆机设计

为解决旋转涂覆机中转盘涂层喷涂不准确、不均匀、有气孔等难题,设计并加工制作了一款转盘式真空涂覆机,可在真空条件下进行涂覆,保证涂覆涂层无气孔,采用PLC控制系统来保证涂覆涂层的准确性及均匀性。运用菲尼克斯涂层测厚仪及对比法,测试涂层特性,实测结果表明:真空环境中涂覆涂层明显均匀、准确,且无明显气孔。

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